VPSA制氧體系主要由鼓風機、真空泵、切換閥、吸附器和氧氣平衡罐組成。原料空氣經吸入口過濾器除掉灰塵顆粒后,被羅茨鼓風機增壓至0.3-0.5barg而進入其間一只吸附器內。吸附器內裝填吸附劑和脫水劑,其間水分、二氧化碳、及少數其它氣體組分在吸附器入口處被裝填于底部的活性氧化鋁所吸附,隨后氮氣被裝填于活性氧化鋁上部的沸石分子篩所吸附。而氧氣(包括氬氣)為非吸附組分從吸附器頂部出口處作為產品氣排至氧氣平衡罐。  當該吸附器吸附到必定程度,其間的吸附劑將到達飽和狀態,此時經過切換閥使用真空泵對之進行抽真空(與吸附方向相反),真空度為0.65-0.75barg。已吸附的水分、二氧化碳、氮氣及少數其它氣體組分被抽出并排至大氣,吸附劑得到再生。  VPSA的每個吸附器都交替履行以下步驟:              ---吸附---解吸---沖壓  上述三個根本的工藝步驟由PLC和切換閥體系來實現自動控制。  VPSA型制氧機 1、 能耗比較低。產氧量越大，能耗也下降。 2、 維護成本低，動設備為羅茨鼓風機和羅茨真空泵，因其工作原理都為容積式，無油，極易維護。 3、 整套設備的自動化程度高，動設備與制氧機是同步控制，只需按一下發動按鈕，整套設備即可正常運轉。 4、適合于中大型產值。